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第521章 昆仑机房开建（第1页）
GCA-301CGS的工作仅仅持续了不到10分钟，就完成了所有曝光。
刘高工按下暂停键。
“光刻完成。晶圆已取出，送显影。”
一片晶圆被从工件台上取下来，放进一个专门的盒子里，由一名技术员送到显影设备那边。
显影、定影、烘干。
技术员把处理好的晶圆放在显微镜下，刘高工凑过去看。
他看了几秒，直起腰，转过身。
“图形清晰，线条边缘整齐，无显影残留。光刻胶图形符合设计要求。”
首长点了点头，没说话。
接下来是刻蚀。
晶圆被送进刻蚀机，等离子体在真空腔体内生成，带着高能离子轰击晶圆表面，把没有被光刻胶保护的区域刻掉，留下精细的电路图案。
刻蚀完成后，光刻胶被去除。
技术员把晶圆放在显微镜下，这一次，看的时间更长。
“刻蚀深度符合要求，侧壁垂直度良好，无残留。第一层图案，成型。”
然后是薄膜沉积。
化学气相沉积设备在晶圆表面沉积一层二氧化硅，作为栅极绝缘层。
再沉积一层多晶硅，作为栅极材料。
然后是光刻、刻蚀、沉积、离子注入。
一层一层的电路，在晶圆上慢慢生长出来。
吕辰跟着人群，沿着生产线一步一步往前走。
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